中文名称:硅烷 高纯硅烷
英文名称:silane
分子式:SiH4
产品纯度:99.9999%
包装规格:44L
充装量:10公斤
1. 性状:无色气体,有大蒜恶心气味。
2. 密度:1.44g/L
3. 相对蒸汽密度:1.2g/mL
4. 熔点:-185ºC
5. 沸点:-111.9ºC
6. 沸点:-112ºC
7. 临界温度:-3.5ºC
8. 临界压力:4.864MPa
9. 溶解性:溶于水,几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。
10. 临界体积:151. 5(计算) / 136. 75(实测)cm3/mol。硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。
硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,决定了它是一种高危险性的气体。
序号 | 名称 | 化学式 | 纯度(%) | 压力(Mpa) | 充装量(m3/kg) | 阀门螺纹出口 |
1 | 硅烷 | SiH4 | 99.9999 | 10 | CGA350/Diss632 |
项目名称 | 杂质含量(ppm) | |||
砗烷纯度指标(%)≥99.9999 | ||||
氩气(Ar) | ≤0.05 | |||
氯硅烷(Chiorosilane) | ≤0.15 | |||
乙硅烷(Si2H6) | ≤0.5 | |||
氦气(He) | ≤1 | |||
一氧化碳(CO) | ≤0.05 | |||
氧气(O2) | ≤0.05 | |||
氮气(N2) | ≤1 | |||
氢气(H2) | ≤20 | |||
二氧化碳(CO2) | ≤0.05 | |||
甲烷(CH4) | ≤0.05 | |||
碳(C) | ≤0.2 | |||
二氯二氢硅(SiH2CI2) | ≤0.5 | |||
甲基硅烷(CH3Si) | ≤0.5 | |||
金属离子(Metals) | ≤0.03 |
气瓶使用
1、使用气瓶前使用者应对气瓶进行安全状况检查。还应检查减压器、软管是否有泄漏、磨损及接头松懈等现象,并对盛装气体进行确认。检查出不合格的气瓶不能使用。
2、气瓶应在通风良好的场所使用。如果通风条件差或狭窄的场地里使用气瓶,应采用相应的措施,以防止出现氧气不足,或危险气体浓度加大的现象。安全措施主要包括强制通风、氧气监测、气体检测等。
3、气瓶的放置地点不得靠近热源,应与办公、居住区域保持10M以上间距。气瓶应防止曝晒、雨淋、水浸。环境温度超过40℃时,应采取遮阳等措施降温。
4、气瓶应立放使用,严禁卧放,并应采取防止倾倒的措施。
5、开启或关闭瓶阀时,应用手或专用扳手,不准使用其他工具,以防损坏阀件。装有手轮的阀门不能使用扳手。如果阀门损坏,应将气瓶隔离并及时维修。
6、应缓慢地开启或关闭瓶阀。打开气瓶阀门时,人站的位置要避开气瓶出气口。
7、气瓶使用完毕后应关闭阀门,释放减压器压力,并配戴好瓶帽。
8、瓶内气体不得用尽,必须留有剩余压力。压缩气体气瓶的剩余压力应不小于0.05Mpa。
9、气瓶投入使用后,不得对瓶体进行挖补、焊接修理。严禁将气瓶用作支架等其他用途。
10、气瓶使用完毕后,要妥善保管。空瓶上应标有“空瓶”标签;已用部份气体的气瓶,应标有“使用中”标签;未使用的满瓶气瓶,应标有“满瓶”标签。
11、使用过程中发现气瓶泄漏,要查找原因,及时采取整改措施。严禁在泄漏情况下使用气瓶。
气瓶存储
1、在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。钢瓶应直立摆放。且保持保护性阀盖和输出阀的密封完好。
2、存储区域应远离频繁出入处和紧急出口。储存区域内不应有火源,储存区内所有电器必须有防爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距20ft 。
3、或者在中间放置至少5英尺高的非易燃材料作为屏障,以保证能耐火半小时。储存区和使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的告示牌。
4、存储温度不可高于125℉(52℃)。将空瓶与满瓶分开存放。避免过量存储和存储时间过长。
5、使用先进先出系统。应考虑在储存区内安装测漏器和报警设备